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CPS高精度納米粒度分析儀是一臺(tái)穩(wěn)定高速、高分辨的納米顆粒測(cè)量?jī)x器。該儀器適合測(cè)量 0.005 微米（也即 5 納米） 到 75um 微米范圍的粒度。
數(shù)據(jù)采集分析軟件采用全中文圖形用戶(hù)界面，方便用戶(hù)控制測(cè)試臺(tái)和記錄測(cè)量數(shù)據(jù)，支持手動(dòng)或自動(dòng)編譯其測(cè)試腳本程序。
F60薄膜厚度測(cè)量?jī)x就像我們的 F50產(chǎn)品一樣測(cè)繪薄膜厚度和折射率，但它增加了許多用于生產(chǎn)環(huán)境的功能。 這些功能包括凹槽自動(dòng)檢測(cè)、自動(dòng)基準(zhǔn)確定、全封閉測(cè)量平臺(tái)、預(yù)裝軟件的工業(yè)計(jì)算機(jī)，以及升級(jí)到全自動(dòng)化晶圓傳輸?shù)臋C(jī)型。
主動(dòng)式防震系統(tǒng)一些靈敏度很高的儀器可能是一個(gè)自然諧振頻率的被動(dòng)系統(tǒng)，可以用主動(dòng)隔振系統(tǒng)消除共振。
薄膜厚度測(cè)量?jī)x：以F20平臺(tái)為基礎(chǔ)所發(fā)展的F10-HC薄膜測(cè)量系統(tǒng)，能夠快速的分析薄膜的反射光譜資料并提供測(cè)量厚度，加上F10-HC軟件的模擬演算法的設(shè)計(jì)，能夠在厚膜中測(cè)量單層與多層(例如：底漆或硬涂層等)。
主動(dòng)式減震臺(tái)空間6自由度主動(dòng)減振-擁有全頻段出色的抗振動(dòng)效果，同時(shí)沒(méi)有共振，LCD-加速度時(shí)間波形顯示/加速度頻譜顯示。
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