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產(chǎn)品中心工控儀表超聲波流量計ALICAT 氣體質(zhì)量流量控制器 21系列
產(chǎn)品型號：
更新時間：2024-11-19
廠商性質(zhì)：代理商
訪問量：909
服務熱線4006981718
產(chǎn)品分類
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美國ALICAT 21系列標準型質(zhì)量流量控制器，采用內(nèi)部補償型層流壓差技術(shù)，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異，并對用戶標準工況進行修正。具有NIST可溯源校準證書。
可用于快速精確地測量并控制過程氣體的質(zhì)量流量、體積流量、壓力，并顯示氣體溫度，適用于多種流量測控場合。設(shè)備采用快速穩(wěn)定的優(yōu)質(zhì)電磁閥以及優(yōu)化的PID調(diào)校，可達到優(yōu)于100 ms的控制速度，并保持穩(wěn)定性，并有超低壓損產(chǎn)品可供您選擇。
ALICAT 氣體質(zhì)量流量控制器 21系列應用及案例
● 大學/研究所 ● 環(huán)境監(jiān)測
● 真空行業(yè)及鍍膜 ● 工業(yè)爐窯
● 半 導 體 ● 汽車制造
● 光 伏 ● 燃料電池
● 計量校準 ● 過程工藝氣體測量
ALICAT 氣體質(zhì)量流量控制器 21系列產(chǎn)品特色
● 數(shù)字化產(chǎn)品
● 多參數(shù)顯示和輸出：溫度、壓力、流量等
● 多參數(shù)控制，如體積流量、質(zhì)量流量和壓力
● 標配三種控制方式：數(shù)字、模擬和本地面板
● 可選高精度：優(yōu)于0.5%讀數(shù)
● 量程可控比寬，0.01~100%滿量程
● 響應時間快，優(yōu)于30 ms
● 內(nèi)置98種氣體
● 可現(xiàn)場編輯混合氣體（最多5種成分），并最多存儲20種混合氣
量程為0.5 SCCM -6000 SLPM，
其中10 SCCM - 20 SLPM量程段，下述指標升級：
質(zhì)量流量普通精度 ± 0.6% 讀數(shù)或± 0.1% 滿量程（取最大值）
質(zhì)量流量高精度 ± 0.5% 讀數(shù)或± 0.1% 滿量程（取最大值）
重復性 ±（0.1% 讀數(shù) + 0.02% 滿量程）
質(zhì)量流量零點漂移 ± 0.01%滿量程/ ℃（從25℃開始）
± 0.01%滿量程/ Atm（從校準壓力開始）
質(zhì)量流量量程漂移 ± 0.01%讀數(shù)/ ℃（從25℃開始）
± 0.1 %讀數(shù)/ Atm（從校準壓力開始）
介質(zhì)要求 非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體
介質(zhì)種類 內(nèi)置了98種氣體，請參考氣體兼容表
一臺設(shè)備內(nèi)置所有氣體，用戶可現(xiàn)場選擇
量 程 從0-0.5 SCCM 到 0-6000 SLPM
量程可控比（穩(wěn)態(tài)） 0.01～100%滿量程
最大顯示流量 128 %滿量程
最大可控流量 102.4 %滿量程
顯 示 屏 帶背光燈按鍵，標準為LCD黑白顯示屏（帶背光），可選TFT彩色顯示屏
顯示方式 同時顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度
精 度 ±（0.8 %讀數(shù) + 0.2 %滿量程）精度升級部分見左下角
±（0.4 %讀數(shù) + 0.2 %滿量程）（可選）
累計流量精度 流量精度之外增加±0.5%讀數(shù)的額外誤差
重 復 性 ±（0.2% 讀數(shù) + 0.02% 滿量程）
質(zhì)量流量溫度零點和滿量程漂移 0.02%滿量程/ ℃（從25℃開始）
質(zhì)量流量壓力零點和滿量程漂移 ±（0.08 % 讀數(shù) + 0.02 % 滿量程）/ Atm（從校準壓力開始）
控制響應時間 30ms（與流量相關(guān)，用戶可調(diào)）
顯示響應時間 ＜10ms（與流量相關(guān)）
預熱時間 ＜1s
默認標況（STP） 25 ℃&1Atm（其它標況可調(diào)）
工作溫度 -10 ～ 60 ℃（可選高溫/低溫選項）
溫度精度 ± 0.75℃
工作濕度 0 ～ 95 %，無冷凝
最大工作壓力 1 MPa表壓
操作壓力 如果不做真空特殊標定，建議在絕壓80KPa以上使用；其他真空壓力建議做特殊標定
壓力精度 ±0.5%讀數(shù)（＞1Atm），或±0.07PSIA（＜1Atm）
滿量程壓損 參考詳細壓損表
數(shù)據(jù)刷新頻率 數(shù)字信號40Hz@19200波特率；
模擬信號：1000Hz
屏幕刷新頻率 10Hz
數(shù)字輸入/輸出信號 RS232、RS485、Modbus RTU（RS232/RS485）、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus
模擬輸入/輸出信號 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA
可選第二路模擬輸出 質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度
模擬信號精度 在基礎(chǔ)誤差上額外增加±0.1%滿量程的誤差
供電電壓 12-30 VDC （如選4-20 mA輸出，須為15-30 VDC ）
供電電流 250 mA，1 A，2 A（詳情咨詢）
額外加 40 mA（ 4 - 20 mA）
電氣接口 DB9M，可選DB15、6針工業(yè)接頭、8針Mini-DIN等
泄漏率（外漏） 選擇HLC選項，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He
材 質(zhì) 302、303、304、316L、430FR不銹鋼、FKM、硅橡膠、環(huán)氧樹脂、聚酰胺、玻璃、硅、銅、金、陶瓷
R閥門430FR不銹鋼替換為410不銹鋼
過程連接 標準為NPT內(nèi)螺紋，詳情參考壓損表
安裝位置 小閥門無要求，R閥門需閥體垂直向上安裝
防護等級 IP40（IP66可選）
認 證 ISO 9001、NIST溯源認證、CE、RoHS、REACH聲明、CSA （可選）
標準性能
多功能數(shù)字顯示屏
顯示多種測量參數(shù)：質(zhì)量流量、體積流量、溫度和壓力
低壓損
無需預熱
Viton密封
8針mini-DIN電信號接口
標準圓形電源接口
RS-232多點式數(shù)字輸出
RS-232多點式數(shù)字輸入
0-5Vdc、0-10Vdc或1-5Vdc 多種模擬信號輸出可選
0-5Vdc、0-10Vdc、1-5Vdc或4-20mA模擬信號輸入可選
可調(diào)節(jié)PID算法
內(nèi)置30種氣體可選
200:1 量程可調(diào)比
NPT接頭
可控制從0.5SCCM到3000SLPM的滿量程的任何流量
有條件的終身質(zhì)保
可選性能
高精度
累加器
6針、DB9或DB15電信號接口
ProfiBUS數(shù)字信號輸出
RS-485數(shù)字信號輸出
4-20mA模擬信號輸出
第二種模擬信號輸出
TFT背光彩色顯示屏
遠程顯示屏
遠程TFT背光彩色顯示屏
丙烯酸絕緣涂層
EPDM密封
NeSSI本體
氧氣清潔
用于高溫環(huán)境的遠程電子包裝
SAE接頭
VCR, VCO接頭
5VDC、12VDC、24VDC排氣量報警(過高或過低)
雙向流動
額外標定點
定制混個氣體（最多4種）
定制流量范圍
不銹鋼閥門
高流量低壓損閥門
防爆選項
集成式電位計控制
滿量程質(zhì)量流量控制器 | 滿量程壓損1（psid） 排氣到大氣中 | 外觀尺寸 | 連接接口2 |
0.5 sccm - 50 sccm | 1.0 | 3.9''H ×3.4''W ×1.1''D | M-5 （10-32）（內(nèi)螺紋）3 |
100 sccm - 500 sccm | 1.0 | 4.1''H ×3.6''W ×1.1''D | 1/8''NPT內(nèi)螺紋 |
1 slpm | 1.5 | ||
2 slpm | 3.0 | ||
5 slpm | 2.0 | ||
10 slpm | 5.5 | ||
20 slpm | 20.0 | ||
50 slpm | 2.0 | 5.5''H ×7.7''W ×2.3''D | 1/4''NPT內(nèi)螺紋 |
100 slpm | 3.2 | ||
250 slpm | 2.4 | 5.5''H ×7.7''W ×2.3''D | 1/2''NPT內(nèi)螺紋 |
500 slpm | 6.5 | 5.5''H ×7.4''W ×2.3''D | 3/4''NPT內(nèi)螺紋 （2000 SLPM 可選配1-1/4''NPT內(nèi)螺紋） |
1000 slpm | 14.0 | ||
1500 slpm | 17.0 | 5.5''H ×8.1'W ×2.9''D | |
2000 slpm | 28.6 | ||
3000 slpm | 16.8 | 5.5''H ×8.9''W ×2.9''D | 1-1/4''NPT內(nèi)螺紋 |
5000 slpm | 14.1 | 6.3''H ×10.0''W ×4.5''D | 1-1/2''NPT內(nèi)螺紋 |
1、另有低壓損系列質(zhì)量流量控制器。 2、與Beswick®，Swagelok®管，Parker®，表面密封，快接接頭和卡套轉(zhuǎn)接頭相兼容，也可以按照用戶需求與VCR，SAE接頭相兼容。 3、Buna-N表面密封至1/8''NPT內(nèi)螺紋。 | |||
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