ALICAT 氣體質(zhì)量流量計-低壓損型 20W系列產(chǎn)品特色

●  數(shù)字化產(chǎn)品
●  多參數(shù)顯示和輸出：溫度、壓力、流量等
●  可選高精度：可優(yōu)于0.5%
●  可測范圍廣，0.01~100%滿量程

●  滿量程超低壓損為480Pa

●  響應(yīng)時間快，優(yōu)于10 ms

●  內(nèi)置98種氣體

●  可現(xiàn)場標(biāo)定混合氣體（最多5種成分），并存儲20種混合氣

精度升級

量程為0.5 SCCM - 1000 SLPM，

其中10 SCCM - 100 SLPM量程段，下述指標(biāo)升級：

質(zhì)量流量普通精度        ± 0.75% 讀數(shù)或± 0.1% 滿量程（取最大值）

質(zhì)量流量高精度           ± 0.6% 讀數(shù)或± 0.1% 滿量程（取最大值）

重復(fù)性                         ±（0.1% 讀數(shù) + 0.02% 滿量程）

質(zhì)量流量零點(diǎn)漂移       ± 0.03% 滿量程 / ℃溫差± 0.01% 滿量程 / Atm壓力差

質(zhì)量流量量程漂移       ± 0.01% 讀數(shù) / ℃溫差± 0.1 % 讀數(shù) / Atm壓力差

技術(shù)指標(biāo)

介質(zhì)要求    非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體

介質(zhì)種類    內(nèi)置了98種氣體，請參考背面

                   一臺設(shè)備內(nèi)置所有氣體，用戶可現(xiàn)場選擇

量       程    從0 - 0.5 SCCM 到 0 - 1000 SLPM

量程可測比    0.01%～100%滿量程

最大顯示流量    128%滿量程

顯  示  屏    帶按鍵背光開關(guān)，標(biāo)準(zhǔn)為LCD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏

顯示方式    同時顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

精       度    ± （0.8%讀數(shù) + 0.2%滿量程） 精度升級部分見左下角

                  ± （0.4%讀數(shù) + 0.2%滿量程）（可選）

累計流量精度    流量精度之外額外增加±0.5%讀數(shù)誤差

重  復(fù)  性    ±（0.2%讀數(shù)+0.02%滿量程）

質(zhì)量流量溫度零點(diǎn)和滿量程漂移    0.03%滿量程/ ℃（從25℃開始）

質(zhì)量流量壓力零點(diǎn)和滿量程漂移    ±（0.08 % 讀數(shù) + 0.02 % 滿量程）/ Atm

                 （從校準(zhǔn)壓力開始）

響應(yīng)時間    127 ms（可調(diào)）                  

預(yù)熱時間    < 1 s

默認(rèn)標(biāo)況（STP）    25 ℃ & 1Atm（其它標(biāo)況可調(diào)）

工作溫度    -10 ～ 60 ℃（可選高溫/低溫選項(xiàng)）

溫度精度    ± 0.75 ℃

工作濕度    0 ～ 95 %，無冷凝

最大工作壓力    0.3 MPa表壓，進(jìn)出口最大允許瞬時壓差70 Kpa

操作壓力    如果不做真空特殊標(biāo)定，建議在絕壓80 KPaA以上使用； 

                          其他真空壓力建議做特殊標(biāo)定

壓力精度    ±0.75%讀數(shù)（＞1 Atm），或±0.1PSIA（＜1Atm）

滿量程壓損    參考詳細(xì)壓損表

數(shù)據(jù)刷新頻率    數(shù)字信號40 Hz@ 19200波特率；模擬信號：1000 Hz

屏幕刷新頻率    10 Hz

數(shù)字輸出信號    RS232、RS485、Modbus RTU（RS232/RS485）、

                  Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus

模擬輸出信號    0 - 5 VDC、1- 5 VDC、0 -10 VDC、4-20mA

可選第二路模擬輸出    質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

模擬信號精度    在基礎(chǔ)誤差上額外增加 ± 0.1 % 滿量程誤差

供電電壓    9-24 VDC（如選4-20 mA或0-10VDC輸出，須為12-24VDC）

供電電流    40 mA （+ 40 mA輸出電流在 4-20 mA 或0-10VDC）

電氣接口    DB9M，可選DB15、6針工業(yè)接頭、8針Mini-DIN等

泄漏率（外漏）    選擇HLC選項(xiàng)，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He 

材       質(zhì)    302、303不銹鋼、Viton、硅橡膠、環(huán)氧樹脂、

                  玻璃增強(qiáng)聚苯硫醚、鋁、玻璃、硅、金

過程連接    詳情參考壓損表

安裝方式    對位置無要求                      

防護(hù)等級    IP40

認(rèn)    證    ISO 9001、NIST溯源認(rèn)證、CE、RoHS、REACH聲明、CSA（可選）

選項(xiàng)配件

●標(biāo)準(zhǔn)性能
多功能數(shù)字顯示屏
顯示多種測量參數(shù)：質(zhì)量流量、體積流量、溫度和壓力
超低壓損
無需預(yù)熱
Viton密封
8針mini-DIN電信號接口
標(biāo)準(zhǔn)圓形電源接口
RS-232多點(diǎn)式數(shù)字輸出
RS-232多點(diǎn)式數(shù)字輸入 (僅用于質(zhì)量流量控制器)
0-5Vdc、0-10Vdc或1-5Vdc 多種模擬信號輸出可選
0-5Vdc、0-10Vdc、1-5Vdc或4-20mA模擬信號輸入可選 (僅用于質(zhì)量流量控制器)
可調(diào)節(jié)PID算法 (僅用于質(zhì)量流量控制器)
內(nèi)置30種氣體可選
200:1 量程可調(diào)比
NPT接頭
可測量和控制從0.5SCCM到500SLPM的滿量程的任何流量
有條件的終身質(zhì)保

●可選性能
高精度
累加器
6針、DB9或DB15電信號接口
ProfiBUS數(shù)字信號輸出
ProfiBUS數(shù)字信號輸入(僅用于質(zhì)量流量控制器)
RS-485數(shù)字信號輸出
4-20mA模擬信號輸出
第二種模擬信號輸出 (僅用于質(zhì)量流量計)
TFT背光彩色顯示屏
遠(yuǎn)程顯示屏
遠(yuǎn)程TFT背光彩色顯示屏
丙烯酸絕緣涂層
EPDM密封
NeSSI本體
氧氣清潔
用于高溫環(huán)境的遠(yuǎn)程電子包裝
SAE接頭
VCR、VCO 接頭
5VDC、12VDC、24VDC排氣量報警(過高或過低)
雙向流動
額外標(biāo)定點(diǎn)
定制混個氣體（最多4種）
定制流量范圍
不銹鋼閥門 (僅用于質(zhì)量流量控制器)
高流量低壓損閥門 (僅用于質(zhì)量流量控制器)
集成式電位計控制 (僅用于質(zhì)量流量控制器)